半导体真空泵再添新面孔—MICROWAY亮相semi-e深圳半导体展

2025年9月10日，SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展拉开序幕。作为泛半导体领域一站式真空泵及系统解决方案服务商，MICROWAY迈科微携干式真空机组参展，向半导体行业展示新型真空解决方案。

MICROWAY虽然是半导体设备行业新人，但开展期间，展台人潮涌动，很多观众对EDC1200真空机组展现了浓厚的兴趣。EDC系列真空机组BP泵泵的转子采用316SS或者其它耐蚀合金，泵壳采用镀层，可以满足CL/CFX/CHFX/TEOS/F2/HF等气体的腐蚀，具有更高的耐腐蚀能力，满足严苛工艺要求，适用半导体清洁制程、中等严苛制程和严苛制程。

此次参展是MICROWAY在半导体制造行业首次正式亮相。但参展产品在光伏、锂电行业已经批量应用多年，在半导体器件制造中也已满“周岁”。EDC1200真空机组在某半导体产线薄膜工艺和刻蚀工艺平稳运行超过8000小时无故障，让用户对半导体真空泵国产替代信心倍增。

芯片等半导体器件行业作为高端制造领域对真空泵性能要求高。目前，国外真空泵品牌在半导体制造行业市场份额超过90%，这是一个实现中国半导体关键技术自主可控的潜在隐患。掌握高端真空泵核心技术是半导体行业健康发展、长期稳定发展的必然要求。